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显微分光膜厚仪(OPTM系列)

简要描述:显微分光膜厚仪(OPTM系列)使用显微光谱法在微小区域内通过反射率进行测量,可进行高精度膜厚度/光学常数分析。通过非破坏性和非接触方式测量涂膜的厚度,例如各种膜、晶片、光学材料和多层膜。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2024-01-19
  • 访  问  量:265

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详细介绍

测量目标膜的**反射率,高精度测量膜厚和光学常数!非接触·非破坏·显微

测量时间仅1秒!

显微分光膜厚仪(OPTM系列)使用显微光谱法在微小区域内通过**反射率进行测量,可进行高精度膜厚度/光学常数分析。通过非破坏性和非接触方式测量涂膜的厚度,例如各种膜、晶片、光学材料和多层膜。 测量时间上,能达到1秒/点的高速测量,并且搭载了即使是初次使用的用户,也可容易出分析光学常数的软件

显微分光膜厚仪(OPTM系列)(图1)

产品特点:

  • 头部集成了薄膜厚度测量所需功能

  • 通过显微光谱法测量高精度**反射率(多层膜厚度,光学常数)

  • 1点1秒高速测量

  • 显微分光下广范围的光学系统(紫外***近红外)

  • 区域传感器的安全机制

  • 易于分析向导,初学者也能够进行光学常数分析

  • 独立测量头对应各种inline客制化需求

  • 支持各种自定义

测量项目:

  • **反射率测量

  • 多层膜解析

  • 光学常数分析(n:折射率,k:消光系数)

应用:

  • 半导体:晶圆样品的自动调整,晶圆的弯曲检测

  • 光学元器件:镜头镜片的放射率,弯曲等检测

产品规格型号


OPTM-A1

OPTM-A2

OPTM-A3

波長范围

230 ~ 800 nm

360 ~ 1100 nm

900 ~ 1600 nm

膜厚范围

1nm ~ 35μm

7nm ~ 49μm

16nm ~ 92μm

测定时间

1秒 / 1点

光斑大小

10μm (***小约5μm)

感光元件

CCD

InGaAs

光源規格

氘灯+卤素灯  

卤素灯

电源規格

AC100V±10V 750VA(自动样品台规格)

尺寸

555(W) × 537(D) × 568(H) mm (自动样品台规格之主体部分)

重量

约 55kg(自动样品台规格之主体部分)


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