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主动隔振平台系统

简要描述:主动隔振平台概述STACIS® III是一种灵活主动隔振系统。STACIS主动隔振平台系统采用先进的惯性振动传感器、先进的控制算法和压电致动器,通过连续测量地面活动,然后扩展和收缩压电致动器来过滤地面运动,以实时消除振动。 STACIS**

  • 产品型号:
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2024-01-19
  • 访  问  量:238

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详细介绍

主动隔振平台概述

STACIS® III是一种灵活主动隔振系统。STACIS主动隔振平台系统采用先进的惯性振动传感器、先进的控制算法和压电致动器,通过连续测量地面活动,然后扩展和收缩压电致动器来过滤地面运动,以实时消除振动。

 

STACIS**初设计用于隔离先进半导体工厂中的精密微光刻、计量和检测设备,现已成为嘈杂环境(包括但不限于半导体工厂、失效分析实验室、纳米技术研究、纳米制造设施和材料研究中心)中**敏感仪器的行业标准解决方案。

 

STACIS III主动隔振平台系统包括一个全新的改进型数字控制器DC-2020。这款全新的**控制系统在前后面板上采用了新的双核处理器、以太网以及USB串行端口,为用户提供了现代化且易于使用的图形用户界面(GUI)。STACIS在已拥有数百个成功的安装案例,是理想的隔振系统,适用于对振动**为敏感的仪器。

 

主动隔振平台系统(图1)

 

主动隔振平台系统STACIS III的优势

STACIS比空气隔振器硬数百倍,没有任何空气隔振系统的局限性。它没有“软"悬架,与主动空气系统不同,STACIS可以放置在带有内部主动空气隔振系统的工具下方,使两个系统都在**状态下运行。

 

的串行设计和专有的高力压电技术,可实现0.6 Hz***150 Hz的宽主动带宽和从2 Hz开始减振90%的**主动隔振性能。

 

主动隔振平台系统STACIS III特征

▪ **新改进型DC-2020数字控制器,提供易于使用的图形用户界面

▪ 隔振开始于0.6赫兹,1Hz时达到40%***70%的隔离率

▪ 频率2赫兹和更高时,垂直和水平隔振率大于90%

▪ 降低基础设施的要求和建设成本,即使有较大外界震动设备也可正常运行

▪ 有效隔振范围,0.6Hz到150Hz

▪ 获得众多用户的广泛认可和肯定

▪ 6向自由度硬安装设计,无需空气悬架

▪ 强大的控制系统无需定期重新校准

▪ point-of-use设计方案,与客户现有隔振系统无缝兼容

▪ 随着外部环境改变,系统自动调节以适应不同外部震动情形

▪ TMC的STACIS®技术使用压电执行器主动消振

▪ 数字控制器与基于PC的图形用户界面(GUI)

▪ 提高客户产品产量、质量、成品率。

▪ 符合RoHS标准

▪ **宽的主动隔振带宽,**的低频隔振效果

▪ 亚赫兹的主动震动消除,**主要在0.6-6Hz频段内的隔振

▪ 可堆叠式设计

▪ 主动硬式安装结构、而非软式悬浮、无低频漂移、主动元件与刚性弹簧相连

▪ 被动弹簧滤除了来自STACIS传感器的负载谐振,需要的调谐非常少,甚***无需调谐

▪ 由于阻抗不匹配,可兼容仪器内部隔离器

▪ 负载可达2000kg

▪ 市场上**的主动隔振系统

 

主动隔振平台性能

主动隔振平台系统(图2)

使用VC-C(500 μ英寸/秒,12.5 μ米/秒 RMS)的模拟振动来测试4500磅(2045千克)有效载荷

 

主动隔振平台规格

性能规格

主动自由度6
主动带宽0.6 Hz - 150 Hz
被动固有频率18 Hz垂直和水平
有效的主动共振频率0.5 Hz
1 Hz时的隔振40% - 70%
≥2 Hz时的隔振≥90%
10磅(4.5千克)步进输入后的稳定时间(减少10:1)0.3秒
内部噪音<0.1 nm RMSd>
每个隔振器的工作负载范围低承重能力:400 - 1100磅(181 - 499千克)
中等承重能力:900 - 2100磅(408 - 953千克)
高承重能力:1900 - 4500磅(862 - 2041千克)
刚度(1000磅 / 454千克质量、中等承重能力隔振器)40,000磅/英寸(73 x 105牛/米)
从距离隔振器**4英寸(102毫米)处发射的磁场<0.02 μG broadband RMSd>

 隔振器设计、尺寸、环境和效用要求
环境和安全符合CE和RoHS标准
主动隔振元件**小承重能力为3300磅(1500千克)的压电致动器接收来自高压放大器的信号,其输出高达800 VDC。垂直执行器支撑隔振的有效载荷
被动隔振元件单个硬质各向同性弹性体(无需压缩空气源)
振动传感器元件向下的地震检波器型惯性传感器,用于测量隔振器下方的地面振动,并提供与振动运动速度成正比的电压
主动反馈控制回路在支撑隔振表面的弹簧下方测量、处理和衰减地面振动
隔振器尺寸(宽 x 深 x 高)11.75 x 12.5 x 10.8英寸 300 x 320 x 275 mm
隔振器重量75磅(34千克)
工作温度50° - 90°F
       10° - 32°C
储存温度-40° - 130°F
       -40° - 55°C
湿度30 - 60%
系统电源要求100、120、230、240 VAC
       50/60 Hz AC; <600 W
       符合CE标准
地面位移<480 μin. (12 μm) below 10 Hzd>
每个系统的隔振器数量***少3个
可选附件层压不锈钢平台、框架、立管、调平装置、抗震装置、提升罩

 DC-2020控制器规格
尺寸(宽 x 深 x 高)19 x 8.5 x 1.75英寸
       483 x 216 x 45 mm
重量6.3磅(2.9千克)
处理器150/75 MHz双核
采样率10 kHz
模拟输出16个通道
模拟输入16个通道
状态灯单个LED
前面板端口1个串行USB 2.0
       1个串行Micro-USB
       1个以太网RJ-45
       2个BNC
后面板端口1个串行USB 2.0
       1个以太网RJ-45
       1个RS-232 DB-9传统串行,用于传统的STACIS 2100隔振器
用户界面前面板液晶显示屏
       超级终端上的字符菜单
       适用于Microsoft Windows的扩展GUI
       嵌入式以太网GUI

STACIS用户及应用领域

1、微电子、半导体

▪ 晶片检测

▪ 显微光刻技术

▪ 掩膜校准

2、科学研究、纳米技术

▪ SEM、TEM

▪ STEM、SPM

3、激光台

▪ 生命科学、药物研发

4、工业应用

▪ 精密加工

 

为什么要选择主动隔振系统?

▪ 从<1Hz开始强烈消除地面震动,气动平台在这一低频处无法起到有效的隔振

▪ 提高质量、生产量

▪ 更加细小特色的成像能力

▪ 前沿研究

▪ 比气动平台更稳定

▪ 满足SEM标准地点安装参数的**解决方案

▪ 使得新实验室及研究设备的工程造价更低

 

主动隔振系统为何选择STACIS

▪ 正中了科研者的的心声,提供了尽可能**的无震环境。

▪ 市场上**强劲的低频隔振系统。

▪ 目前所有的SEM厂商都公布了安装参数要求,其需要的震动参数需要主动隔振系统才能满足。

▪ STACIS**发明于1990s,经TMC进一步发展,开发和安装了数以千计的主动隔振系统,这是主动隔振控制领域的提供的可靠解决方案。

 

STACIS相比气动隔离器刚性大几百倍

稳定时间作为对扰动的响应,由于的串联式设计,而大大缩短,理想应用于机械制造、动态负载、激光或者光源需要安装的独立刚性台面的情况下。

 

如下优势在业内都是**的

▪ STACIS的主动隔振带宽为0.6Hz -150Hz

▪ 6个自由度的主动震动消除,在1Hz时隔振8-10dB 

▪ 从2-3Hz时,隔振可达90% (20dB) 

 

专业的环境调查

1、安装前后的环境调查,包括震动、磁场、声波

2、安装后可提供环境系统体系认证

▪ 完善的环境调查服务

▪ 开具专业环境报告

▪ 提供震动、磁场、声波检测及解决方案

▪ TMC基于其广泛经验向用户推荐实用性方案 

▪ 40多年的行业经验,业内的**

 

应用照片

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