气浮隔振光学平台的工作原理

设备通过压缩空气构建无刚性接触的柔性支撑体系，从根源上实现超高效隔振：

气路系统向空气弹簧气囊内充入0.3~0.6MPa的洁净压缩空气，让整个光学台面悬浮在均匀的气体层之上，切断地面与台面之间的刚性振动传递路径。

当外界振动干扰传入时，弹性气体层通过快速压缩与膨胀吸收绝大部分振动能量，配合多小孔准层流阻尼技术，将残余振动动能快速耗散，大幅缩短平台受扰动后的恢复稳定时间。

主流机型搭载自动充气、自动平衡闭环系统，实时感知台面水平状态并动态调节各气囊气压，确保在负载变化、环境温度波动的情况下，台面始终保持超高水平度与稳定隔振性能。

气浮隔振光学平台的使用与维护要点：

气源必须干燥、除油除尘，水汽油污会损坏气囊、节流孔，造成漂移、不稳

开机先充气浮，等待平台稳定后再做精密测量；搬动、重载变动后需要重新调平

不要长期超负载、单侧偏载；定期检查气囊有无老化漏气、调压阀零点漂移

环境：避免强气流直吹、附近大功率泵/空压机同步运行