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主动消振系统Stage-base

简要描述:概述 TMC继续在*技术的基础上开发新的解决方案,以满足半导体工具对其隔振系统提出的挑战性要求。Stage-Base 450是专为带高精度电动X-Y平台的**半导体工具而设计的主动消振系统。这些工具不但需要极其有效的消振性能,

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  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2024-05-24
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概述

TMC继续在*技术的基础上开发新的解决方案,以满足半导体工具对其隔振系统提出的挑战性要求。Stage-Base 450是专为带高精度电动X-Y平台的**半导体工具而设计的主动消振系统。这些工具不但需要极其有效的消振性能,它们还要求由平台引起的有效载荷运动能够非常快速地稳定,以**限度地提高工具吞吐量。通过增加带有前馈控制的VCM,可以缩短稳定时间,进一步提高吞吐量,从而为移动平台应用提供***的主动振动和运动消除系统。

主动消振系统Stage-base(图1)

 

Stage-Base 450优势

Stage-Base 450采用了下一代主动硬安装压电消振集成音圈技术。只有TMC可以提供这种的**低频消振串行型技术,通过使用音圈电机(VCM),实现了主动移动平台运动消除。

Stage-Base 450下一代主动控制系统采用TMC的STACIS技术。使用压电致动器和串行式架构中的刚性悬架实现了**的消振。这实现了始于0.6 Hz的业内**地面隔振,响应于平台力的初始偏转明显更小。

 

规格

▪ 采用的STACIS®技术

▪ 采用高力、加长行程的压电致动器

▪ 有效载荷的位置可重复性在微米以内

▪ 框架安装设计

▪ 6个主动自由度

▪ 可选的VCM前馈和/或反馈

▪ 始于0.6 Hz的主动隔振

▪ 响应平台运动的快速稳定时间

▪ 无软空气悬架

▪ 通过USB 2.0实现基于PC的图形用户界面(GUI)的高速数字控制器

▪ 简单、坚固且经济高效

 

性能

主动消振系统Stage-base(图2)

 

主动消振系统Stage-base(图3)

 

应用照片

主动消振系统Stage-base(图4)
主动消振系统Stage-base(图5)

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